[实用新型]PVD设备的冷却装置以及PVD设备总成有效
| 申请号： | 201721629568.5 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN207760413U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 蒲春 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;姜溯洲 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD设备的冷却装置以及PVD设备总成，其中，前者包括冷却腔室和冷却板；冷却腔室位于工艺腔室外部；冷却板位于冷却腔室中，冷却板能移动至工艺腔室中，并与载板的底部相贴合。本实用新型提供的PVD设备的冷却装置，载板进入工艺腔室之后，冷却板上升与载板的底部贴合，从而对载板进行冷却，避免了加工过程中温度太高，从而确保加工顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却板 载板 冷却腔室 冷却装置 工艺腔室 贴合 本实用新型 设备总成 工艺腔 室外部 总成本 冷却 移动 加工 | ||
【主权项】：
1.一种PVD设备的冷却装置，所述PVD设备包括工艺腔室，所述工艺腔室中设置有载板，其特征在于，所述PVD设备的冷却装置包括：冷却腔室，所述冷却腔室位于所述工艺腔室外部；冷却板，所述冷却板位于所述冷却腔室中，所述冷却板能移动至所述工艺腔室中，并与所述载板的底部相贴合。
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