[实用新型]一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板有效
| 申请号： | 201721629576.X | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN207537525U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 陈红晓;曾兴中;吕玉武;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 邓聪权 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，在所述挡板上设置至少一个角度控制器，用于改变所述挡板的角度，所述角度控制器与控制系统连接，所述控制系统用于控制所述角度控制器不断改变所述挡板的角度。采用该技术方案降低了材料分层的现象，提高了掺杂均匀性，改善了器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 角度控制器 控制系统 蒸镀源 本实用新型 掺杂均匀性 材料分层 器件性能 | ||
【主权项】：
1.一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，其特征在于，在所述挡板上设置至少一个角度控制器，用于改变所述挡板的角度，所述角度控制器与控制系统连接，所述控制系统用于控制所述角度控制器不断改变所述挡板的角度。
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