[实用新型]等离子体增强化学气相沉积设备有效
申请号: | 201721629939.X | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN207713814U | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 胡冬冬 | 申请(专利权)人: | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/52 |
代理公司: | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人: | 袁伟东;袁建水 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种等离子体增强化学气相沉积设备,包括:真空腔体(10),设置有多个加热元件;加热台(20),设置在真空腔体的内部;匀气装置(30),设置在真空腔体的内部,并位于加热台的上方,且朝向加热台出气;以及进气装置(40),设置在真空腔体的外部,并与匀气装置相通,所述等离子体增强化学气相沉积设备还包括:通孔(11),设置所述真空腔体(10)的位置高于所述加热台(20)的腔壁上,并且通过透明密封件(50)而与真空腔体实现密封连接,以及红外热像仪(60),其设置在真空腔体的外侧,并经由透明密封件对加热台的温度进行探测。本实用新型的等离子体增强化学气相沉积设备的操作简单,且测量范围比较广,测量结果更加准确。 | ||
搜索关键词: | 真空腔体 等离子体增强化学气相沉积设备 加热台 本实用新型 透明密封件 匀气装置 红外热像仪 范围比较 加热元件 进气装置 密封连接 出气 腔壁 通孔 测量 探测 相通 外部 | ||
【主权项】:
1.一种等离子体增强化学气相沉积设备,包括:真空腔体(10),其内设置有多个加热元件;加热台(20),其设置在所述真空腔体(10)的内部;匀气装置(30),其设置在所述真空腔体(10)的内部,并位于所述加热台(20)的上方,且朝向所述加热台(20)出气;以及进气装置(40),其设置在所述真空腔体(10)的外部,并与所述匀气装置(30)相通,其特征在于,所述等离子体增强化学气相沉积设备还包括:通孔(11),其设置所述真空腔体(10)的位置高于所述加热台(20)的腔壁上,并且通过透明密封件(50)与所述真空腔体(10)实现密封连接,以及红外热像仪(60),其设置在所述真空腔体(10)的外侧,并经由所述透明密封件(50)对所述加热台(20)的温度进行探测。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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