[实用新型]等离子体增强化学气相沉积设备有效

专利信息
申请号: 201721629939.X 申请日: 2017-11-29
公开(公告)号: CN207713814U 公开(公告)日: 2018-08-10
发明(设计)人: 胡冬冬 申请(专利权)人: 江苏鲁汶仪器有限公司
主分类号: C23C16/50 分类号: C23C16/50;C23C16/52
代理公司: 北京得信知识产权代理有限公司 11511 代理人: 袁伟东;袁建水
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种等离子体增强化学气相沉积设备,包括:真空腔体(10),设置有多个加热元件;加热台(20),设置在真空腔体的内部;匀气装置(30),设置在真空腔体的内部,并位于加热台的上方,且朝向加热台出气;以及进气装置(40),设置在真空腔体的外部,并与匀气装置相通,所述等离子体增强化学气相沉积设备还包括:通孔(11),设置所述真空腔体(10)的位置高于所述加热台(20)的腔壁上,并且通过透明密封件(50)而与真空腔体实现密封连接,以及红外热像仪(60),其设置在真空腔体的外侧,并经由透明密封件对加热台的温度进行探测。本实用新型的等离子体增强化学气相沉积设备的操作简单,且测量范围比较广,测量结果更加准确。
搜索关键词: 真空腔体 等离子体增强化学气相沉积设备 加热台 本实用新型 透明密封件 匀气装置 红外热像仪 范围比较 加热元件 进气装置 密封连接 出气 腔壁 通孔 测量 探测 相通 外部
【主权项】:
1.一种等离子体增强化学气相沉积设备,包括:真空腔体(10),其内设置有多个加热元件;加热台(20),其设置在所述真空腔体(10)的内部;匀气装置(30),其设置在所述真空腔体(10)的内部,并位于所述加热台(20)的上方,且朝向所述加热台(20)出气;以及进气装置(40),其设置在所述真空腔体(10)的外部,并与所述匀气装置(30)相通,其特征在于,所述等离子体增强化学气相沉积设备还包括:通孔(11),其设置所述真空腔体(10)的位置高于所述加热台(20)的腔壁上,并且通过透明密封件(50)与所述真空腔体(10)实现密封连接,以及红外热像仪(60),其设置在所述真空腔体(10)的外侧,并经由所述透明密封件(50)对所述加热台(20)的温度进行探测。
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