[实用新型]一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置有效
| 申请号： | 201721630957.X | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN207423888U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 王东方;郑果文;杜旭;田利峰;夏操;万胜来;王昕;杨旭;刘欣;殷志富 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 魏征骥 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置，属于传感器技术领域。固支梁阵列结构由多根尺寸相同的固支梁组成，包括一根参考梁和至少一根检测梁。不同固支梁的两端通过耦合单元相连，固支梁阵列结构和耦合单元都固定在支撑结构上。每根固支梁和支撑结构的内部都加工有相通的微流道，待测流体经过支撑结构上的流道入口依次流过各根固支梁。参考梁的微流道上沉积惰性材料层，检测梁的微流道上沉积不同的敏感层。在支撑结构下部有压电圆盘，激励阵列结构振动。每根固支梁的上表面沉积有压电层，用于策动阵列结构同步共振和检测信号输出。本实用新型具有结构新颖、能同时检测多种物质、分辨率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 固支梁 阵列结构 支撑结构 共振 流体 沉积 微量物质检测 本实用新型 耦合单元 检测梁 传感器技术领域 惰性材料 检测信号 流道入口 压电圆盘 参考 敏感层 上表面 微流道 压电层 分辨率 相通 输出 检测 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置，其特征在于：固支梁阵列结构由n根尺寸相同的固支梁组成，n≥2且为整数，包括一根参考梁和至少一根检测梁，不同固支梁的两端通过耦合单元相连，固支梁阵列结构和耦合单元都固定在支撑结构上，每根固支梁和支撑结构的内部都加工有依次串联相通的微流道，参考梁上的微流道的中央位置上沉积惰性材料层，检测梁上的微流道的中央位置上沉积不同的敏感层，支撑结构的下部有压电圆盘，每根固支梁上表面的一端沉积有压电元件。
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