[实用新型]基板处理装置的药液管理系统、费用的计算系统

摘要

本实用新型提供最适于将基板制造所使用的药液管理为最佳状态的服务的基板处理装置的药液管理系统及基板处理装置的药液管理费用计算系统。在基板处理装置的药液管理系统中，通过配备有累计流量计的配管将基板处理装置与调制药液的新液的药液调制装置、对使用后的药液进行再生的药液再生装置等连接。浓度管理装置测定基板处理装置的药液的浓度，补充药液的原液或新液、再生液，将药液始终管理为最佳的浓度。所供给的补充液的累计流量由累计流量计来计测。累计流量计与网络直接连接。

主权项

1.一种基板处理装置的药液管理系统，该基板处理装置反复使用药液对基板进行处理，其特征在于，所述基板处理装置的药液管理系统具备：药液调制装置，其具备将在所述基板处理装置中使用的所述药液调制为新液的药液调制部、贮存由所述药液调制部调制出的所述新液的新液贮存部、及将贮存于所述新液贮存部的所述新液向所述基板处理装置输送的新液输送机构，所述药液调制装置通过供所述新液流通的新液用配管与所述基板处理装置连接；补充液输送机构，其通过补充液用配管与所述基板处理装置连接，所述补充液用配管供向在所述基板处理装置中反复使用的所述药液补给的补充液流通，所述补充液输送机构将所述补充液向所述基板处理装置输送；以及浓度管理装置，其对所述新液输送机构及所述补充液输送机构中的至少任一个进行控制，以使得在所述基板处理装置中反复使用的所述药液的浓度成为规定的浓度值或规定的浓度范围内，在所述新液用配管及所述补充液用配管中配备有累计流量计。