[实用新型]放电激励式气体激光装置有效
| 申请号： | 201721638011.8 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207542556U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 伊藤贵志;藤卷洋介;田中诚;对马弘朗 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/038 | 分类号： | H01S3/038;H01S3/03 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 陶海萍;田勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种放电激励式气体激光装置，包括：激光腔室，其具有由导电性的保持部件所保持的放电电极；第一部件，其表面上形成有通往内部的第一孔；第二部件，其表面上形成有凹部和第二孔；第二孔从凹部的底面贯通第二部件并且与第一孔连通；以及螺栓，其配置于第一孔和第二孔处，将第二部件固定到第一部件上；第二部件具有与放电电极对置的电极侧面以及与激光腔室对置的腔室侧面，所述凹部的一部分形成在腔室侧面上。由此，能够减少甚至避免安装孔处产生折损的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 凹部 气体激光装置 放电电极 腔室侧面 激光腔 放电 对置 导电性 本实用新型 螺栓 保持部件 部件固定 电极侧面 安装孔 底面 折损 连通 贯通 配置 | ||
【主权项】：
1.一种放电激励式气体激光装置，包括：激光腔室，其具有由导电性的保持部件所保持的放电电极；第一部件，其沿着所述放电电极的长度方向与所述放电电极并列地设置；其中在所述第一部件的表面上形成有通往内部的第一孔；第二部件，其配置在所述第一部件上，在所述第二部件的表面上形成有凹部和第二孔；所述第二孔从所述凹部的底面贯通所述第二部件，并且与所述第一孔连通；以及螺栓，其配置于所述第一孔和所述第二孔处，将所述第二部件固定到所述第一部件上；其特征在于，所述第二部件具有与所述放电电极对置的电极侧面以及与所述电极侧面分离且与所述激光腔室对置的腔室侧面，所述凹部的一部分形成在所述腔室侧面上。
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