[实用新型]涂胶装置

摘要

本实用新型提供了一种涂胶装置，所述涂胶装置包括承载台和吹气机构，所述承载台用于承载基底，涂胶时，所述吹气机构移动至所述承载台的上方并向所述承载台吹气，以使光刻胶涂布于所述基底表面。本实用新型采用吹气机构向承载台吹气的方式，与现有技术相比提高了光刻胶的利用率。 1

主权项

1.一种涂胶装置，其特征在于，包括承载台和吹气机构，所述承载台用于承载基底，所述吹气机构在基底点胶后移动至所述承载台的上方并向所述承载台吹气，以使光刻胶均匀涂布于所述基底表面。

2.如权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，所述吹气机构包括供气单元以及喷气单元，所述供气单元与所述喷气单元连接并用于向所述喷气单元供气，所述喷气单元面向所述承载台并向所述承载台吹气。

3.如权利要求2所述的涂胶装置，其特征在于，所述喷气单元面向所述承载台的一侧具有多个通气孔，通过所述通气孔向所述承载台吹气。

4.如权利要求3所述的涂胶装置，其特征在于，所述多个通气孔均匀分布，所述多个通气孔的孔径小于或等于1mm。

5.如权利要求2所述的涂胶装置，其特征在于，所述喷气单元面向所述承载台的一侧具有一个条状缝隙；或者，所述喷气单元面向所述承载台的一侧设置有两个相互垂直的条状缝隙。

6.如权利要求5所述的涂胶装置，其特征在于，所述基底为圆形基底，所述条状缝隙的长度大于或等于所述圆形基底的直径，所述条状缝隙的宽度在0.5mm～5mm之间。

7.如权利要求2所述的涂胶装置，其特征在于，所述喷气单元由多孔介质材料制成，通过所述多孔介质材料的孔隙向所述承载台吹气。

8.如权利要求2所述的涂胶装置，其特征在于，所述喷气单元为圆盘状结构或圆锥状结构。

9.如权利要求8所述的涂胶装置，其特征在于，所述基底为圆形基底，所述喷气单元面向所述承载台的表面的直径大于或等于所述圆形基底的直径。

10.如权利要求1至9中任一项所述的涂胶装置，其特征在于，所述吹气机构面向所述承载台的表面与所述承载台的距离在0.1mm～2mm之间。

11.如权利要求1至9中任一项所述的涂胶装置，其特征在于，还包括一吹气机构驱动单元，所述吹气机构驱动单元与所述吹气机构连接并用于驱动所述吹气机构移动。

12.如权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，所述承载台包括支撑盘、支撑柱和承载台驱动单元，所述支撑盘与支撑柱固定连接，所述承载台驱动单元用于驱动所述支撑柱和支撑盘旋转。

13.如权利要求12所述的涂胶装置，其特征在于，所述支撑盘侧面设置有斜向上或水平吹气的支撑盘喷气单元。

14.如权利要求12所述的涂胶装置，其特征在于，所述支撑盘的直径小于承载的基底的直径。