[实用新型]一种间隙控制装置、工件清洗设备及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201721644992.7 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207552435U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 毕凯 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种间隙控制装置，包括遮挡板、转动环、驱动装置、第一齿轮及第二齿轮，所述遮挡板为一弧形板，其下端与转动环连接，所述转动环与第二齿轮平行且同轴设置，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，第一齿轮固定于驱动装置的输出轴上。通过驱动装置驱动第一齿轮旋转，第一齿轮带动第二齿轮旋转，第二齿轮带动转动环转动，从而调节灯丝与基板之间的通道间隙，实现清洗或镀膜精度调节，可对不同精度要求的工件进行清洗或镀膜。本实用新型还提供了一种工件清洗设备及一种真空镀膜设备。 | ||
| 搜索关键词： | 齿轮 转动环 驱动装置 工件清洗设备 间隙控制装置 真空镀膜设备 齿轮带动 齿轮旋转 遮挡板 镀膜 清洗 本实用新型 齿轮啮合 精度调节 精度要求 通道间隙 同轴设置 弧形板 输出轴 灯丝 基板 下端 平行 转动 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种间隙控制装置，其特征在于：所述间隙控制装置包括遮挡板、转动环、驱动装置、第一齿轮及第二齿轮，所述遮挡板为一弧形板，其下端与转动环连接，所述转动环与第二齿轮平行且同轴设置，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，第一齿轮固定于驱动装置的输出轴上。
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