[实用新型]一种适用真空镀膜机的翻板阀装置有效
| 申请号： | 201721645565.0 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN207525333U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;孙海澄;朱小凤;王田英 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 201500 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板；用于带动阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构，驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板转动。本实用新型实现了真空室和主阀腔间的启闭，且本装置传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；从而有效保证了主阀腔的洁净度，简化了主阀腔的保养工作，并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 主阀腔 阀板 真空室 转动 齿轮齿条传动 本实用新型 真空镀膜机 阀板结构 驱动部件 驱动机构 翻板阀 传动方式 传动效能 紧密贴合 密封效果 气缸主轴 驱动转轴 使用寿命 转轴机构 组件带动 洁净度 无死角 传动 导通 启闭 主阀 保养 封闭 灵活 保证 | ||
【主权项】：
1.一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；所述阀板结构包括用于导通或封闭所述真空室与所述主阀腔的阀板；用于带动所述阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动所述转轴机构的驱动机构，所述驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；所述驱动部件通过所述齿轮齿条传动组件带动所述阀板转动。
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