[实用新型]PVD设备总成有效
| 申请号： | 201721671379.4 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN207760416U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 蒲春 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;姜溯洲 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD设备总成，包括工艺腔室，工艺腔室中设置有工艺源、载板和冷却板；载板与工艺源之间形成有工艺区；冷却板位于所述工艺区之外；冷却板上开设有冷却通道；冷却通道预留有进风口和出风口，出风口朝向载板；冷却气体经过进风口进入冷却通道，并从出风口吹至载板上。当载板置于工艺腔室中之后，冷却板的出风口朝向载板吹出冷却气体，从而将载板连同基片进行冷却，冷却效率非常高，并且能同时适用于批次式加工的PVD设备和在线式PVD设备。 | ||
| 搜索关键词： | 载板 出风口 冷却板 工艺腔室 冷却通道 冷却气体 工艺区 进风口 冷却效率 设备总成 在线式 总成本 吹出 冷却 预留 加工 | ||
【主权项】：
1.一种PVD设备总成，包括工艺腔室，所述工艺腔室中设置有工艺源和载板，所述载板承载有基片的一面朝向所述工艺源；所述载板与所述工艺源之间形成有工艺区；其特征在于，所述PVD设备总成还包括：冷却板，所述冷却板设置在所述工艺腔室中，且位于所述工艺区之外；所述冷却板上开设有冷却通道；所述冷却通道预留有进风口和出风口，所述出风口朝向所述载板；冷却气体经过所述进风口进入所述冷却通道，并从所述出风口吹至所述载板上。
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