[实用新型]一种电路切断装置有效
| 申请号： | 201721674419.0 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN207531185U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 邱冠雄 | 申请（专利权）人： | 深圳宜特检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 44368 | 代理人： | 李永华;张广兴 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种电路切断装置，包括聚焦离子束、离子蚀刻机和电路检测装置；所述聚焦离子束对所述PCB板上待切断的金属导线上的半导体制程进行切割，所述半导体制程形成孔洞并显露出所述金属导线；所述聚焦离子束包括喷嘴，所述喷嘴往所述孔洞内喷射腐蚀性气体，所述离子蚀刻机往所述孔洞内喷射蚀刻气体，所述喷嘴与所述离子蚀刻机配合以蚀刻所述金属导线并在所述金属导线上形成电路切断点；所述电路检测装置连接所述金属导线并检测所述金属导线的切断情况。本实用新型提供的电路切断装置利用腐蚀性气体材料配合离子蚀刻机和聚焦离子束将电路讯号切断，不仅效率高，且定位精准，不会损坏其他线路。 | ||
| 搜索关键词： | 金属导线 聚焦离子束 离子蚀刻 电路切断装置 孔洞 喷嘴 电路检测装置 半导体制程 本实用新型 腐蚀性气体 喷射 蚀刻 材料配合 电路切断 电路讯号 定位精准 蚀刻气体 机往 切割 显露 检测 配合 | ||
【主权项】：
1.一种电路切断装置，用于切断PCB板的金属导线，其特征在于，所述电路切断装置包括聚焦离子束、离子蚀刻机和电路检测装置；所述聚焦离子束对所述PCB板上待切断的金属导线上的半导体制程进行切割，所述半导体制程形成孔洞并显露出所述金属导线；所述聚焦离子束包括喷嘴，所述喷嘴往所述孔洞内喷射腐蚀性气体，所述离子蚀刻机往所述孔洞内喷射蚀刻气体，所述喷嘴与所述离子蚀刻机配合以蚀刻所述金属导线并在所述金属导线上形成电路切断点；所述电路检测装置连接所述金属导线并检测所述金属导线的切断情况。
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