[实用新型]一种用于高基频石英晶体片的清洗装置有效

专利信息
申请号: 201721678796.1 申请日: 2017-12-06
公开(公告)号: CN207887610U 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 杜敏;姚晓文;李祥;李坡 申请(专利权)人: 廊坊中电熊猫晶体科技有限公司
主分类号: B08B11/00 分类号: B08B11/00;B08B3/10;B08B3/08
代理公司: 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 代理人: 沈根水
地址: 065001 河北省廊坊市*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型是一种用于高基频石英晶体片的清洗装置,其结构是由两个完全相同的组件构成,组件上有多个石英晶体片载盘,每个石英晶体片载盘有多个槽孔,导杆依次穿过石英晶体片载盘、挡捎,由挡捎上的螺丝旋紧进行固定,使挡捎、导杆与石英晶体片载盘固定不晃动,完成清洗装置的组装;优点:装置组件上密布的槽孔既能加大一次清洗的数量,提高清洗效率,又可保证清洗的完全性和石英晶体片表面的一致性;也可避免石英晶体片MESA区域垂直受力而碎裂的发生,并也有利于清洗液与石英晶体片表面充分接触和流动。解决了传统清洗中石英晶体片相互间碰撞和重叠问题。
搜索关键词: 石英晶体片 载盘 清洗装置 槽孔 导杆 基频 清洗 本实用新型 充分接触 垂直受力 清洗效率 一次清洗 重叠问题 装置组件 碎裂 清洗液 螺丝 旋紧 晃动 密布 穿过 组装 流动 保证
【主权项】:
1.用于高基频石英晶体片的清洗装置,其特征是由两个完全相同的组件构成,两组件的石英晶体片载盘间夹一个延槽孔,所述石英晶体片载盘上插有导杆,导杆穿过挡捎,挡捎上有螺丝;所述组件形状均为圆盘状,两组件包括上表面密布的延槽孔和一下表面格挡圈,下表面格挡圈位于延槽孔中部。
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