[实用新型]具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备有效
| 申请号： | 201721687021.0 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN207793414U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 施栓林 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;解立艳 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，包括第一靶材镀膜腔和第二靶材镀膜腔，所述第一靶材镀膜腔与所述第二靶材镀膜腔之间设有隔离腔，所述隔离腔通过第一隔板与所述第一靶材镀膜腔分隔，通过第二隔板与所述第二靶材镀膜腔分隔，所述第一隔板和所述第二隔板上均具有狭缝和吹扫装置；所述第一靶材镀膜腔内靠近所述第一隔板的一端设有第一泵腔，所述第二靶材镀膜腔内靠近所述第二隔板的一端设有第二泵腔，所述隔离腔、所述第一泵腔和所述第二泵腔内均设有分子泵。本实用新型能够有效解决镀膜腔室间的气氛飘逸问题，保证玻璃镀膜质量，具有结构简单和制造成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜腔 靶材 隔板 泵腔 隔离腔 本实用新型 镀膜设备 分隔 玻璃镀膜 吹扫装置 镀膜腔室 有效解决 制造成本 分子泵 狭缝 保证 | ||
【主权项】：
1.一种具有防气体飘逸功能的板材镀膜设备，包括第一靶材镀膜腔(1)和第二靶材镀膜腔(2)，所述第一靶材镀膜腔(1)与所述第二靶材镀膜腔(2)之间设有隔离腔(3)，其特征在于：所述隔离腔(3)通过第一隔板(5)与所述第一靶材镀膜腔(1)分隔，通过第二隔板(6)与所述第二靶材镀膜腔(2)分隔，所述第一隔板(5)和所述第二隔板(6)上均具有狭缝(7)和设有吹扫装置(8)；所述第一靶材镀膜腔(1)内靠近所述第一隔板(5)的一端设有第一泵腔(13)，所述第二靶材镀膜腔(2)内靠近所述第二隔板(6)的一端设有第二泵腔(14)，所述隔离腔(3)、所述第一泵腔(13)和所述第二泵腔(14)内均设有分子泵(4)。
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