[实用新型]用于晶圆片单面刷洗机的槽体

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆片单面刷洗机的槽体，包括呈长方形的中空腔体，该中空腔体包括左侧板、右侧板、前板、后板、底板和盖板，其特征在于：所述中空腔体内设有：内隔板，所述内隔板将中空腔体分成若干独立的腔室；旋转磁流体，每个独立的腔室中设有一个旋转磁流体，所述旋转磁流体设在底板上用于与腔室之间的密封。本实用新型整体密封性能好，提高了刷洗机的清洁效果，提高了蓝宝石晶圆片的质量。 1

主权项

1.一种用于晶圆片单面刷洗机的槽体，包括呈长方形的中空腔体，该中空腔体包括左侧板、右侧板、前板、后板、底板和盖板，其特征在于：所述中空腔体内设有：

内隔板，所述内隔板将中空腔体分成若干独立的腔室；

旋转磁流体，每个独立的腔室中设有一个旋转磁流体，所述旋转磁流体设在底板上用于与腔室之间的密封。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆片单面刷洗机的槽体，其特征在于：所述每个独立的腔室内还设有溢流盒，所述溢流盒固定在所述内隔板上，所述溢流盒包括溢流盒前板、溢流盒底板和溢流盒后板。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆片单面刷洗机的槽体具，其特征在于：所述左、右侧板与底板之间设有撑板，所述撑板的端部设有固定板。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆片单面刷洗机的槽体，其特征在于：所述左、右侧板与盖板连接处设有固定块。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆片单面刷洗机的槽体，其特征在于：所述盖板上设有挡水圈。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆片单面刷洗机的槽体，其特征在于：所述中空腔体采用PVC板材焊接制成。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆片单面刷洗机的槽体，其特征在于：所述旋转磁流体包括上管件和下管件，所述上管件套设在下管件的外侧。

8.根据权利要求7所述的用于晶圆片单面刷洗机的槽体，其特征在于：所述下管件的外部还设有防水管。