[实用新型]离子植入机有效
| 申请号： | 201721690613.8 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN207611741U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 田成俊;吴孝哲;倪明明;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种离子植入机，包括：工作腔，工作腔包括传送区和植入区；离子源，用于发射离子束至工作腔内；位于工作腔中的承载模块组，用于承载晶圆，承载模块组具有第一工作位置状态和第二工作位置状态；承载模块组包括第一承载模块和第二承载模块；当承载模块组处于第一工作位置状态时，第一承载模块位于传送区，第二承载模块位于植入区，第一承载模块在传送区对晶圆进行卸载和装载，第二承载模块承载晶圆接受离子束的植入；当承载模块组处于第二工作位置状态时，第一承载模块位于植入区，第二承载模块位于传送区，第一承载模块承载晶圆接受离子束的植入，第二承载模块在传送区对晶圆进行卸载和装载。所述离子植入机的工作效率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 承载模块 传送区 晶圆 植入 工作位置状态 工作腔 离子植入机 离子束 承载 卸载 装载 工作效率 离子源 发射 | ||
【主权项】：
1.一种离子植入机，其特征在于，包括：工作腔，工作腔包括传送区和植入区；离子源，用于发射离子束至工作腔内；位于工作腔中的承载模块组，用于承载晶圆，承载模块组具有第一工作位置状态和第二工作位置状态；承载模块组包括第一承载模块和第二承载模块；当承载模块组处于第一工作位置状态时，第一承载模块位于传送区，第二承载模块位于植入区，第一承载模块在传送区对晶圆进行卸载和装载，第二承载模块承载晶圆接受离子束的植入；当承载模块组处于第二工作位置状态时，第一承载模块位于植入区，第二承载模块位于传送区，第一承载模块承载晶圆接受离子束的植入，第二承载模块在传送区对晶圆进行卸载和装载。
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