[实用新型]磁悬浮触针位移传感器有效
| 申请号： | 201721692478.0 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN207487544U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 常素萍;吴昊;胡春冰;周建飞;张中宇;赵言情 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02;G01B5/00;F16C32/04;H01F5/00;H01F5/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 张彩锦;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型属于位移传感器领域，并具体公开了磁悬浮触针位移传感器，包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块、测量探头模块和位移测量模块，所述触针轴悬浮模块用于悬浮支撑触针轴，并且可控制测量力；所述触针轴导向模块包括磁悬浮轴承和间隙传感器，用来保证触针轴在测量过程中处于中心位置；所述测量探头模块包括触针夹持头和触针，触针随被测工件垂直方向上位移的变化而上下移动；所述位移测量模块通过检测激光干涉条纹实现物体垂直方向位移的测量。本实用新型通过调节悬浮模块线圈中电流的大小来控制测量力，以保证触针与被测物接触又不划伤被测物，与传统杠杆触针式传感器相比，具有测量高精度，运动稳定性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 触针 悬浮模块 触针位移传感器 位移测量模块 本实用新型 测量探头 导向模块 被测物 磁悬浮 测量 垂直方向位移 磁悬浮轴承 间隙传感器 位移传感器 运动稳定性 被测工件 测量过程 干涉条纹 检测激光 控制测量 上下移动 悬浮支撑 测量力 夹持头 可控制 传感器 划伤 杠杆 保证 | ||
【主权项】：
磁悬浮触针位移传感器，其特征在于，包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块以及分别设于触针轴悬浮模块的下方和上方的测量探头模块和位移测量模块，其中：所述触针轴悬浮模块包括触针轴(17)、环形磁铁(15)和线圈保持架(6)，该环形磁铁(15)安装在所述触针轴(17)上，并与触针轴(17)过盈配合，该线圈保持架(6)套装在所述触针轴(17)的外部，并且其内表面与所述环形磁铁(15)相对，外表面的上、下端分别缠绕有上悬浮线圈(5)和下悬浮线圈(7)，该上悬浮线圈(5)和下悬浮线圈(7)彼此平行且共轴；所述触针轴导向模块包括上导向模块和下导向模块，该上导向模块套装在所述触针轴(17)的外部并与线圈保持架(6)的上端相连，其包括上磁悬浮轴承(3)，该上磁悬浮轴承(3)的内表面上设置有四个面向触针轴(17)的上磁极柱，四个上磁极柱上均缠绕有上载流线圈(4)，其中相邻的两个上磁极柱的上方分别设置有一面向触针轴(17)的上间隙传感器(2)；该下导向模块套装在所述触针轴(17)的外部并与线圈保持架(6)的下端相连，其包括下磁悬浮轴承(8)，该下磁悬浮轴承(8)的内表面上设置有四个面向触针轴(17)的下磁极柱，四个下磁极柱上均缠绕有下载流线圈(9)，并且四个下磁极柱与四个上磁极柱上下对称布置，此外，与上方设置有上间隙传感器的两个上磁极柱对应的两个下磁极柱的下方分别设置有一面向触针轴的下间隙传感器(10)。
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