[实用新型]一种垂直梯度凝固法用单晶炉有效
| 申请号： | 201721694409.3 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN207582003U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 于洪国;张海涛 | 申请（专利权）人： | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 065001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种垂直梯度凝固法用单晶炉，所述单晶炉包括最外层的圆柱形炉体，所述炉体内部具有一两端开口的圆柱管型石英质炉膛，所述石英质炉膛与炉体之间具有空隙且两者同轴心；所述石英质炉膛内下部具有晶体生长管支撑管，所述晶体生长支撑管上部支撑有晶体生长管；所述晶体生长管支撑管与所述炉膛之间设有保温棉；所述石英质炉膛连通其内部的晶体生长管、晶体生长管支撑管以及保温棉均设置在炉体底部的托盘上。本实用新型中的石英质炉膛可以替代进口的氧化铝炉膛，价格便宜，且石英本身无污染，有利于环保。同时，单晶炉的虽因石英质炉膛而得以改进，但并没有影响所生产的单晶的品质，且整体成本降低。 | ||
| 搜索关键词： | 炉膛 晶体生长 石英质 单晶炉 支撑管 垂直梯度凝固法 本实用新型 保温棉 炉体 圆柱形炉体 两端开口 炉体内部 整体成本 托盘 同轴心 圆柱管 最外层 氧化铝 单晶 石英 连通 替代 支撑 进口 改进 环保 生产 | ||
【主权项】：
1.一种垂直梯度凝固法用单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括最外层的圆柱形炉体，所述炉体内部具有一两端开口的圆柱管型石英质炉膛，所述石英质炉膛与炉体之间具有空隙且两者同轴心；所述石英质炉膛内下部具有晶体生长管支撑管，所述晶体生长支撑管上部支撑有晶体生长管；所述晶体生长管支撑管与所述炉膛之间设有保温棉；所述石英质炉膛连通其内部的晶体生长管、晶体生长管支撑管以及保温棉均设置在炉体底部的托盘上。
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