[实用新型]一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构

摘要

本实用新型公开了一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构，包括外筒和内筒，内筒安装在外筒的空腔内；所述内筒的顶部浇筑有密封口；密封口上套接有密封圈A和法兰A；所述内筒顶部的密封口嵌装在外筒的密封槽内，且密封口与密封槽之间通过法兰A和法兰B连接固定；所述外筒的上端面还压盖有上盖，外筒的一侧插接有加气管，另一侧设置有抽气口。通过将真空镀膜机的外筒和内筒结合在一个水平面，使得反应气体通过加气管进入到抽气口，都能从镀膜区内通过，实现反应气体在镀膜区内均匀分布，使加热温度上下一致，保证了镀件加热温度均匀性，同时，也使得蒸发源产生的离子受到镀膜区几何形状一致的约束，达到离子均匀一致。

主权项

1.一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构，包括外筒(2)和内筒(4)，内筒(4)安装在外筒(2)的空腔内；其特征在于：所述内筒(4)的底部与外筒(2)的底部平齐，内筒(4)的顶部浇筑有密封口(41)；所述密封口(41)上套接有密封圈A(42)和法兰A(43)；所述外筒(2)的顶部与内筒(4)顶部的连接处加工有密封槽(21)，密封槽(21)的内端口连接有法兰B(22)，密封槽(21)的外端口套接有密封圈B(23)；所述内筒(4)顶部的密封口(41)嵌装在外筒(2)的密封槽(21)内，且密封口(41)与密封槽(21)之间通过法兰A(43)和法兰B(22)连接固定；所述密封口(41)与密封槽(21)连接处还填充有密封圈A(42)进行密封；所述外筒(2)的上端面还压盖有上盖(3)，上盖(3)的下端面设置有与外筒(2)的密封槽(21)相匹配的槽口(31)，槽口(31)盖合在密封槽(21)的上方，并通过密封圈B(23)进行密封；所述上盖(3)的边缘处通过法兰连接件固定在外筒(2)的边缘处；所述外筒(2)的一侧还插接有加气管(1)，外筒(2)的另一侧设置有抽气口(5)。