[实用新型]一种镀膜机及其系统有效
申请号: | 201721698046.0 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN207552433U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 雷梁;魏琼林;蒙志林;冉从军;何吉刚;李小强 | 申请(专利权)人: | 成都中科唯实仪器有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/26;C23C14/34 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 王晖 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种镀膜机及其系统,其涉及镀膜设备领域。该镀膜机通过可拆卸集成设置蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件,使得蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件之间能够任意拼装组合,从而在一台镀膜机上即可实现蒸碳、溅射和镀膜三项功能;通过配置膜厚仪,实现了镀膜过程中对于膜厚的实时监控;通过设置溅射试验、溅射定时设定功能,实现在设定时间内自动完成溅射流程;通过采用向下蒸碳模式和与带有拉力弹簧的蒸碳组件进行配合使用,实现了蒸碳过程中碳消耗量的自适应调节。因此,上述的镀膜机及其系统,能够集成蒸碳、溅射和镀膜三项功能于一体,降低了使用者的综合购买成本,提高了蒸碳、溅射和镀膜时的工作效率,具备较高的市场推广应用价值。 | ||
搜索关键词: | 溅射 镀膜 镀膜机 碳组件 自适应调节 定时设定 镀膜过程 镀膜设备 工作效率 集成设置 拉力弹簧 拼装组合 实时监控 市场推广 自动完成 可拆卸 膜厚仪 消耗量 膜厚 配置 试验 购买 应用 | ||
【主权项】:
1.一种镀膜机,其特征在于,其包括用于进行蒸碳的蒸碳组件、用于溅射的溅射组件和用于镀膜的镀膜组件,所述蒸碳组件、所述溅射组件和所述镀膜组件均可拆卸设置于所述镀膜机的密封腔室中。
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