[实用新型]一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚有效
| 申请号： | 201721701974.8 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN207775336U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 童凯;曾兴中;袁建南;朱训政;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 章兰芳 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚，包括热解氮化硼陶瓷坩埚，在所述热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套有氮化铝陶瓷坩埚。在所述热解氮化硼陶瓷坩埚与氮化铝陶瓷坩埚之间留有间隙空间。所述热解氮化硼陶瓷坩埚与所述氮化铝陶瓷坩埚均设置为圆柱体形状。本实用新型提供的蒸镀金属用双层陶瓷坩埚通过在热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套氮化铝陶瓷坩埚，既保留了热解氮化硼PBN坩埚良好的热导性、抗热震性和耐高温特性，又保证了嵌套有外层氮化铝陶瓷坩埚的双层嵌套陶瓷坩埚具有足够的强度和硬度，取放坩埚撞击时不易破裂；并防止长时高温使用中不会发生浸润泄露和破裂漏液而导致蒸发源损坏。此外，双层嵌套陶瓷坩埚的结构设置延长了坩埚的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 陶瓷坩埚 热解氮化硼 氮化铝陶瓷 嵌套 双层陶瓷 蒸镀 本实用新型 双层嵌套 金属 破裂 耐高温特性 圆柱体形状 高温使用 间隙空间 结构设置 抗热震性 使用寿命 热导性 蒸发源 长时 漏液 取放 浸润 泄露 保留 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚，包括热解氮化硼陶瓷坩埚，其特征在于：在所述热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套有氮化铝陶瓷坩埚。
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