[实用新型]一种基板边缘检查机有效
申请号: | 201721715675.X | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN207528645U | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 康强强;郭连俊;杨慎东 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215125 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基板边缘检查机,包括机座,机座上设有:移送部,用于沿第一方向移送基板;旋转部,其安装于移动部上,用于旋转基板,分别使基板的长边方向和短边方向旋转至第一方向;扫描模块,用于扫描处于移送状态的基板的两平行边的上边缘和下边缘;以及安装部,固定于机座上,安装部上安装扫描模块;其中,基板的长边沿第一方向移动时,扫描模块用于扫描两长边的上边缘和下边缘;基板的短边沿第一方向移动时,扫描模块用于扫描两短边的上边缘和下边缘。本实用新型通过旋转部切换基板的长边、短边至移送方向上,调整扫描模块的位置,以弥补长短边的距离差,可同时进行基板四边的上下边检,大大提高了检测效率。 | ||
搜索关键词: | 基板 扫描模块 上边缘 下边缘 长边 短边 机座 本实用新型 方向移动 基板边缘 扫描 检查机 旋转部 调整扫描 方向旋转 基板四边 旋转基板 长边沿 短边沿 距离差 平行边 移动部 检测 | ||
【主权项】:
1.一种基板边缘检查机,其特征在于,包括机座,所述机座上设有:移送部,用于沿第一方向移送基板;旋转部,其安装于所述移动部上,用于旋转基板,分别使基板的长边方向和短边方向旋转至所述第一方向;扫描模块,用于扫描处于移送状态的基板的两平行边的上边缘和下边缘;以及安装部,固定于所述机座上,所述安装部上安装所述扫描模块;其中,基板的长边沿所述第一方向移动时,所述扫描模块用于扫描两长边的上边缘和下边缘;基板的短边沿第一方向移动时,所述扫描模块用于扫描两短边的上边缘和下边缘。
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