[实用新型]一种切割后硅片装夹夹具及切割后硅片装夹组件有效
| 申请号： | 201721726291.8 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN208118159U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 黄金强;冯强;郭宽新 | 申请（专利权）人： | 苏州晶樱光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;H01L21/304;B28D5/00 |
| 代理公司： | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人： | 曹成俊 |
| 地址： | 215614 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种切割后硅片修复用装夹夹具包括一个L形的折弯杆，折弯杆长段的端部段设有连接螺纹且其上活动套有直杆，折弯杆上在直杆两侧分别设有锁定连接直杆的锁定螺母，折弯杆的短段端部转动设有平行于长段的连接杆，直杆的端部也设有平行于折弯杆长段的连接杆，连接杆端部设有端部夹板，端部夹板上与硅片接触表面设有弹性胶板。本实用新型还公开了一种切割后硅片装夹组件，包括装夹平台及上述夹具，所述装夹平台包括上表面倾斜设置的底座，底座较低一侧设有侧定位立板，底座一端设有端部立板，端部立板正对硅片的表面上设有容置夹具的端部夹板的定位槽，端部立板上设有供连接直杆穿过的竖直布置且贯通至端部立板上表面的容置槽。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 折弯杆 直杆 切割 端部夹板 长段 底座 夹具 本实用新型 装夹夹具 装夹平台 装夹组件 连接杆 立板 平行 锁定 螺母 立板上表面 连接杆端部 弹性胶板 定位立板 连接螺纹 倾斜设置 竖直布置 定位槽 端部段 活动套 容置槽 上表面 短段 容置 转动 穿过 贯通 修复 | ||
【主权项】：
1.一种切割后硅片装夹夹具，包括一个L形的折弯杆，折弯杆长段的端部段设有连接螺纹且其上活动套有直杆，折弯杆上在直杆两侧分别设有锁定连接直杆的锁定螺母，折弯杆的短段端部转动设有平行于长段的连接杆，直杆的端部也设有平行于折弯杆长段的连接杆，连接杆端部设有端部夹板，端部夹板上与硅片接触表面设有弹性胶板。
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