[实用新型]一种提升床氮化硅粉体制备系统有效

专利信息
申请号: 201721730197.X 申请日: 2017-12-12
公开(公告)号: CN207619027U 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 武珠峰;刘兴平;范协诚;黄彬;银波;朱秀萍 申请(专利权)人: 新特能源股份有限公司
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 罗建民;邓伯英
地址: 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** 国省代码: 新疆;65
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摘要: 实用新型提供一种提升床氮化硅粉体制备系统,其中硅粉储罐用于将硅粉定期送入至提升床反应器底部;加热器用于将低温氮气加热至第一预设温度范围后输出至提升床反应器底部;进入提升床反应器底部的硅粉和氮气自下而上流动的过程中发生反应生成氮化硅粉体,而反应后尾气输出至袋滤器;袋滤器用于对反应后尾气进行气固分离处理,并在其腔体内的固体颗粒的料位达到预设高度时,将分离出的固体颗粒输出至提升床反应器底部,以继续参与反应,而分离出的气体直接放空;提升床反应器还用于在其内的氮化硅粉体的含量达到预设值时停止反应,并从反应器底部出口排出。本实用新型既能提高生产效率,又能降低反应过程对硅粉的要求,易于实现工业化应用。
搜索关键词: 反应器 硅粉 预设 本实用新型 氮化硅粉体 氮化硅粉 备系统 袋滤器 输出 尾气 氮气 工业化应用 加热器 低温氮气 底部出口 气固分离 生产效率 放空 储罐 料位 排出 加热 送入 体内 流动
【主权项】:
1.一种提升床氮化硅粉体制备系统,其特征在于,包括硅粉储罐、提升床反应器、加热器和袋滤器,所述硅粉储罐用于将硅粉定期送入至提升床反应器底部;所述加热器用于将低温氮气加热至第一预设温度范围后输出至提升床反应器底部;进入提升床反应器底部的硅粉和氮气自下而上流动的过程中发生反应生成氮化硅粉体,而反应后尾气从反应器顶部出口输出至袋滤器;所述袋滤器用于对反应后尾气进行气固分离处理,并在其腔体内的固体颗粒的料位达到预设高度时,将分离出的固体颗粒输出至提升床反应器底部,以继续参与反应,而分离出的气体直接放空;所述提升床反应器还用于在其内的氮化硅粉体的含量达到预设值时停止反应,并在其内的氮化硅粉体冷却后从反应器底部出口排出。
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