[实用新型]基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置有效
| 申请号： | 201721737016.6 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN207763824U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李钦明;余永;杨家岳;丁洪利;张未卿;杨学明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J11/00 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，所述测量装置包括：真空件，离子传输系统，离子位置探测器，光学传输系统，图像采集系统，数据处理系统。本实用新型可以通过改变气体种类，在线式测量真空紫外光的横向分布。通过选取不同的气体种类可以保证测量信号保持在最佳范围，同时因为离子探测器的灵敏度很高，而且不受外界电磁信号和机械振动的影响，可以获得非常高的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空紫外光 横向分布 在线测量装置 本实用新型 离子成像 光学传输系统 离子传输系统 数据处理系统 图像采集系统 离子探测器 在线式测量 测量信号 测量装置 机械振动 离子位置 外界电磁 灵敏度 真空件 探测器 测量 保证 | ||
【主权项】：
1.基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，其特征在于，包括：真空件，所述真空件内具有真空腔(11)，所述真空腔(11)的壁上设有法兰接口，通过法兰接口安装有真空发生器(13)、真空测量组件(12)和充气装置(14)；离子传输系统，所述离子传输系统将待测光电离出的离子竖直传递至离子位置探测器处；离子位置探测器，所述离子位置探测器将离子位置转换为图像采集系统可采集的信号，所述离子位置探测器与离子传输方向保持垂直；光学传输系统，所述光学传输系统可以屏蔽外界杂散光可能引入的杂信号对测量结果的影响；图像采集系统，所述图像采集系统用于采集和处理信号；数据处理系统，所述数据处理系统用来拟合采集到的信号，确定离子信号的横向分布，进而推导出待测光的横向分布。
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