[实用新型]一种光刻设备的涂胶装置有效
申请号: | 201721741439.5 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN207623680U | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | 张海明;杨红 | 申请(专利权)人: | 深圳市国科光印科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光刻设备的涂胶装置,包括同步滚轮、胶剂喷口、添加口、控制旋钮、减压弹簧和移动轮,所述同步滚轮下方开设有胶剂喷口,所述添加口下方设置有控制旋钮,所述减压弹簧下方设置有移动轮,本实用新型结构科学合理,使用安全方便,设置有同步滚轮能够使设备在涂胶时匀速进行运动,提高对其涂胶的质量;设置有胶剂喷口能够使设备外表面均覆有均匀胶剂;设置有添加口便于对胶剂的补充;设置有控制旋钮能够便于调节胶剂加入的速度和剂量,用以改变覆胶层的厚度;设置有减压弹簧能够使装置在运行时使其内部更加稳定;设置有移动轮使装置在移动搬运等过程中变得简单方便。 | ||
搜索关键词: | 胶剂 减压弹簧 控制旋钮 同步滚轮 添加口 移动轮 喷口 本实用新型 光刻设备 涂胶装置 涂胶 设备外表面 结构科学 覆胶层 运行时 搬运 移动 补充 | ||
【主权项】:
1.一种光刻设备的涂胶装置,包括涂胶机箱(1)、设备进口(2)、同步滚轮(3)、联结轴承(4)、联轴杆(5)、集胶管(6)、胶剂瓶(7)、胶剂喷口(8)、涂胶槽孔(9)、胶剂管道(10)、添加口(11)、控制旋钮(12)、设备出口(13)、承重板(14)、减压弹簧(15)、电机(16)、固定板(17)、控制开关(18)、支撑柱(19)、移动轮(20)和制动器(21),其特征在于:所述涂胶机箱(1)左侧上方开设置有设备进口(2),所述涂胶机箱(1)内部设置有同步滚轮(3),所述同步滚轮(3)内部中端设置有联结轴承(4),所述联结轴承(4)外侧设置有联轴杆(5),所述同步滚轮(3)下方设置有集胶管(6),所述集胶管(6)右侧上方设置有胶剂瓶(7),所述集胶管(6)下方设置有胶剂喷口(8),所述胶剂喷口(8)下方设置有涂胶槽孔(9),所述胶剂瓶(7)右侧中部设置有胶剂管道(10),所述胶剂管道(10)上方开设有添加口(11),所述添加口(11)右侧下方设置有控制旋钮(12),所述涂胶机箱(1)右侧中部开设有设备出口(13),所述涂胶机箱(1)内部底端设置有承重板(14),所述承重板(14)内部设置有减压弹簧(15),所述涂胶机箱(1)外部左侧下方设置有电机(16),所述电机(16)下方设置有固定板(17),所述涂胶机箱(1)外部右侧下方设置有控制开关(18),所述涂胶机箱(1)底部两侧均设置有支撑柱(19),所述支撑柱(19)下方设置有移动轮(20),所述控制开关(18)的输入端与市电的输出端电性连接,所述电机(16)的输入端与控制开关(18)的输出端电性连接。
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