[实用新型]一种靶材平坦度矫正设备有效
| 申请号： | 201721749276.5 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207787348U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 | 申请（专利权）人： | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B21D3/16 | 分类号： | B21D3/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良;杨波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及靶材平坦度矫正设备，包括基台、安装在所述基台上检测靶材平坦度的检测装置以及设置在所述基台上对经检测装置检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置。该靶材平坦度矫正设备能够检测靶材平坦度并对检测后的靶材进行平坦度矫正，从而废弃靶材得到重新利用，避免了资源的浪费，减低了生产成本，也提高了靶材表面通过溅射所镀的膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 平坦度 矫正设备 检测 检测装置 矫正 本实用新型 靶材表面 矫正装置 重新利用 均匀性 基台 溅射 生产成本 废弃 | ||
【主权项】：
1.一种靶材平坦度矫正设备，其特征在于，包括基台(11)、安装在所述基台(11)上检测靶材平坦度的检测装置(12)以及设置在所述基台(11)上对经检测装置(12)检测后的靶材进行平坦度矫正的矫正装置(13)。
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