[实用新型]一种用于平板式PECVD的进气管道保护结构

摘要

本实用新型涉及管道保护结构，旨在提供一种用于平板式PECVD的进气管道保护结构。该种用于平板式PECVD的进气管道保护结构，包括进气座、防尘罩拨板、防尘罩、螺杆、挂钩和重锤。本实用新型采用纯机械机构设计，结构简单稳定，后期维护成本低廉；本实用新型能有效解决金属软管在经过多次弯折后易出现裂纹的缺陷，减少因气体泄露而导致设备停机的时间，间接给企业降低生产及维护的成本；本实用新型可大大减少企业的库存配件，直接给企业降低生产成本。

主权项

1.一种用于平板式PECVD的进气管道保护结构，其特征在于，包括进气座、防尘罩拨板、防尘罩、螺杆、挂钩和重锤；所述进气座包括上进气组件和下进气组件，进气座内至少安装三个进气活塞，每个进气活塞包括上进气组件中的上进气活塞和下进气组件中的下进气活塞；所述上进气组件包括上进气座、上进气活塞、上压缩弹簧；上进气座通过螺栓固定安装于平板式PECVD的腔体盖板上，使上进气组件固定在腔体盖板内壁前端；上进气活塞通过上压缩弹簧固定在上进气座上：上压缩弹簧的一端通过弹性形变将上进气活塞压在上进气座内，另一端压在腔体盖板上；上进气活塞内设有气孔，用于平板式PECVD设备工艺气体的输送；上进气座固定在腔体盖板上，当腔体盖板闭合时，上进气活塞气孔的下端与下进气活塞内气孔对接；所述下进气组件包括下进气座、下进气活塞、下压缩弹簧、下进气座盖板；下进气座通过螺栓固定安装于平板式PECVD的腔体内壁上；下进气活塞通过下压缩弹簧和下进气座盖板，安装在下进气座内：下进气活塞的下端安装有下压缩弹簧，下进气活塞的上端安装有下进气座盖板，下进气座盖板固定在下进气座上，通过下压缩弹簧的弹性形变，实现下进气活塞的上下运动；下进气活塞上设有凸台，下进气座盖板上设有孔，通过该凸台与孔的配合，实现下进气活塞的限位；下进气活塞内开有贯穿的气孔，气孔上端的外圆周上安装有O型密封圈，用于实现上进气活塞与下进气活塞之间的密封连接，气孔下端用于和进气管道连接，从而实现下进气组件的进气功能；所述防尘罩通过销轴安装于下进气座上，用于防尘和保护下进气组件；防尘罩下方通过挂钩挂有重锤；螺杆插于防尘罩上，并利用螺母固定；所述防尘罩拨板固定在上进气座的两侧，上进气组件固定在平板式PECVD的腔体盖板上，下进气组件固定在平板式PECVD的腔体内壁上，能够实现：在平板式PECVD的腔体盖板关闭的过程中，上进气组件随着腔体盖板靠近下进气组件，防尘罩拨板向下运动，当碰触到防尘罩上的螺杆时，带动防尘罩绕其销轴向下转动，防尘罩逐渐打开，平板式PECVD的腔体盖板关闭时，防尘罩完全打开，实现下进气活塞和上进气活塞的密封对接；当平板式PECVD的腔体盖板打开的过程中，上进气组件随着腔体盖板远离下进气组件，防尘罩拨板向上运动，防尘罩在重锤作用下，绕其销轴向上转动，防尘罩逐渐关闭，平板式PECVD的腔体盖板打开时，防尘罩关闭，实现对下进气活塞的保护。