[实用新型]一种微波器件用小型化复合溅射离子泵有效
| 申请号： | 201721751536.2 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN207738839U | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 杨磊;梁田;任重;刘洋;陈凯;唐中华 | 申请（专利权）人： | 南京三乐集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 杨海军 |
| 地址： | 211800 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微波器件用小型化复合溅射离子泵，它包括：泵壳(1)，与泵壳(1)相连的排气管(11)，安装在泵壳(1)内部的梅花状阳极结构(2)，安装在泵壳(1)上、下端位置的阴极(3)，安装在梅花状阳极结构(2)内部的加热子(4)和与梅花状阳极结构(2)相连的引线(5)，引线(5)外周设有绝缘瓷(6)；上盖板(7)上表面和下盖板(8)的下表面均设有环形磁钢(9)，环形磁钢(9)为离子泵提供磁场。本实用新型结构设计合理，性能稳定，可保证复合溅射离子泵中吸气剂能够最大可能发挥作用，大幅提高了溅射离子泵的抽气速率及极限真空，采用钛钼吸气剂作为阳极材料，可保证整管的存储寿命，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射离子泵 泵壳 阳极结构 梅花状 本实用新型 环形磁钢 微波器件 吸气剂 复合 阴极 存储寿命 极限真空 下端位置 阳极材料 最大可能 加热子 绝缘瓷 离子泵 排气管 上表面 上盖板 下表面 下盖板 抽气 外周 整管 磁场 保证 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微波器件用小型化复合溅射离子泵，它包括：泵壳(1)，与泵壳(1)相连的排气管(11)，安装在泵壳(1)内部的梅花状阳极结构(2)，安装在泵壳(1)上、下端位置的阴极(3)，安装在梅花状阳极结构(2)内部的加热子(4)，与梅花状阳极结构(2)相连的引线(5)，引线(5)外周设有绝缘瓷(6)；所述的上端的阴极(3)为钽材阴极，下端的阴极(3)为钛材阴极；所述的上、下端位置的阴极(3)分别通过上盖板(7)和下盖板(8)固定在泵壳(1)上；所述上盖板(7)上表面和下盖板(8)的下表面均设有环形磁钢(9)，环形磁钢(9)为离子泵提供磁场；所述的加热子(4)通过氧化铝陶瓷绝缘体(10)与下盖板(8)进行焊接。
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