[实用新型]一种靶材与背板的焊接结构有效

专利信息
申请号: 201721751542.8 申请日: 2017-12-14
公开(公告)号: CN208649454U 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 申请(专利权)人: 深圳市众诚达应用材料科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 代理人: 林俭良;杨波
地址: 518000 广东省深圳市光明新*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种靶材与背板的焊接结构,包括背板、以及设置在所述背板上的靶材;所述背板和所述靶材之间设有增强所述背板和所述靶材之间焊接结合稳定性的卡槽结构。通过在背板和靶材之间设置增强该背板和该靶材之间焊接结合稳定性的卡槽结构;使得该靶材与背板之间可以相互卡合,从而提高了该靶材与背板的结合度,进而避免靶材变形并与该背板脱离。
搜索关键词: 背板 靶材 的卡槽结构 结合稳定性 焊接结构 焊接 本实用新型 结合度 卡合 变形 脱离
【主权项】:
1.一种靶材与背板的焊接结构,其特征在于,包括背板(11)、以及设置在所述背板(11)上的靶材(12);所述背板(11)和所述靶材(12)之间设有增强所述背板(11)和所述靶材(12)之间焊接结合稳定性的卡槽结构(13);所述背板(11)包括可焊接所述靶材(12)的第一焊接面(111);所述靶材(12)包括与所述第一焊接面(111)焊接的第二焊接面(121);所述卡槽结构(13)包括设置在所述第一焊接面(111)上的卡槽(131)以及设置在所述第二焊接面(121)上的与所述卡槽(131)相适配的凸台(132);所述凸台(132)卡合进所述卡槽(131)中;所述第一焊接面(111)位于该卡槽(131)中,并向所述卡槽(131)的边缘延伸,所述第二焊接面(121)位于该凸台(132)的凸出端,并向所述凸台(132)的边缘延伸;所述第一焊接面(111)上设有增加焊接面积的若干波纹(112)。
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