[实用新型]一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置有效

专利信息
申请号: 201721752506.3 申请日: 2017-12-15
公开(公告)号: CN207571035U 公开(公告)日: 2018-07-03
发明(设计)人: 郝中骐;李祥友;李嘉铭;周冉;郭连波;曾晓雁;陆永枫 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 曹葆青;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开了一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置。该装置包括激光烧蚀、共振激发、光谱采集和系统控制四个部分,采用一束波长固定的光纤激光烧蚀待检测的固体样品,使其熔融、溅射和蒸发,产生持续的气溶胶,将气溶胶转移到一个新的空间位置后,再使用波长可调谐激光对气溶胶进行等离子体激发,将波长调谐至与被分析元素特征谱线对应的共振激发波长一致,使目标元素特征谱线增强,再对等离子体发射光进行采集分析,得到待分析元素含量。本实用新型实现了分析基体的统一,有效提高了信噪比,降低了基体效应和光谱干扰对激光诱导击穿光谱定量分析性能的影响。
搜索关键词: 激光烧蚀 气溶胶 本实用新型 共振激光 击穿光谱 检测装置 共振 分析 诱导 激光诱导击穿光谱 等离子体发射光 等离子体激发 元素特征谱线 波长可调谐 定量分析 波长调谐 固体样品 光谱采集 光谱干扰 光纤激光 基体效应 激发波长 空间位置 目标元素 特征谱线 系统控制 固定的 信噪比 再使用 波长 溅射 熔融 烧蚀 蒸发 激光 采集 激发 检测 统一
【主权项】:
1.一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置,其特征在于,该装置包括激光烧蚀、共振激发、光谱采集和系统控制四个部分;激光烧蚀部分包括光纤激光器(1)、第一反射镜(2)、第一聚焦镜(3)、旋转位移台(6)和取样组件;光纤激光器(1)、第一反射镜(2)和第一聚焦镜(3)依次位于同一光路上,旋转位移台(6)用于放置待检测物质,所述取样组件用于收集气溶胶并提供给共振激发部分进行等离子体激发;共振激发部分包括波长可调谐激光器(11)、第二反射镜(12)、第二聚焦镜(13)和吸收体(15);波长可调谐激光器(11)、第二反射镜(12)和第二聚焦镜(13)依次位于另一光路上,吸收体(15)位于位于第二聚焦镜(13)的的焦点外;光谱采集部分包括采集光路(16)、光纤(17)、光谱仪(18)和探测器(19);采集光路(16)的出口通过光纤(17)与光谱仪(18)相连,探测器(19)与光谱仪(18)连接;系统控制部分包括计算机(20)和时序控制器(21),计算机(20)与探测器(19)连接,时序控制器(21)分别与高功率光纤激光器(1)、波长可调谐激光器(11)及探测器(19)电信号连接;时序控制器(21)用于产生控制激光器和探测器的同步时序信号。
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