[实用新型]一种竖直移动式InSb晶片退火装置

摘要

本实用新型公开了一种竖直移动式InSb晶片退火装置，其可使多个InSb晶片的退火环境一致。一种加热炉竖直移动式InSb晶片退火装置，包括：加热炉，沿竖直方向依次包括预热区、退火区及保温区三个温区，所述加热炉具有贯通所述三个温区的炉腔；石英管，插设在所述加热炉的炉腔中且二者能够沿竖直方向相对移动，所述石英管内腔安置有石英舟，用于承载多个自下至上水平放置的InSb晶片，所述石英舟置于所述石英管的内腔底部；该退火装置具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态时，所述石英管内的石英舟位于所述之预热；在所述第二工作状态时，是通过加热炉的缓慢移动，使所述石英管内的盛载待退火的InSb晶片石英舟逐步依次通过加热区，并最后进入保温区，进而完成退火处理的全部过程，石英舟托底部的热偶将记录在整个退火过程中的全部温度变化数据。

主权项

1.一种竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，包括：加热炉，沿竖直方向依次包括预热区、退火区及保温区三个温区，所述加热炉具有贯通所述三个温区的炉腔；石英管，插设在所述加热炉的炉腔中且二者能够沿竖直方向相对移动，所述石英管具有内腔；石英舟，用于承载多个自下至上叠放的InSb晶片，所述石英舟设于所述石英管的内腔中；该退火装置具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态时，所述石英管内的石英舟位于所述预热区之内并具有靠近所述退火区的趋势；在所述第二工作状态时，加热炉将向上移动，使所述石英管内的石英舟逐渐进入所述退火区，最后进入保温区。