[实用新型]游星轮组合件有效
| 申请号： | 201721763270.3 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN208895850U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 冯光建;夏秋良 | 申请（专利权）人： | 苏州新美光纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28;B24B37/08 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 周宇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供游星轮组合件，涉及半导体技术领域。涉及游星轮组合件，包括游星轮本体和治具，所述游星轮本体内设置有用于放置治具的第一开孔，所述治具与所述第一开孔的内壁固定；所述治具的外径轮廓与所述第一开孔的内径轮廓相适应，所述治具镶嵌在所述第一开孔的内壁上。采用本技术方案，能够实现游星轮在抛光机里面的长时间转动，使待抛光件可以镶嵌到治具中，而治具可以镶嵌到游星轮本体中，这样在后续抛光时，只需要更换不同的治具，而只需要一副游星轮就能够实现同样的抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 游星轮 治具 第一开孔 组合件 镶嵌 抛光 内壁 半导体技术领域 本实用新型 内径轮廓 外径轮廓 抛光机 抛光件 转动 | ||
【主权项】：
1.一种游星轮组合件，其特征在于，包括内嵌式结构的游星轮和治具，所述内嵌式结构的游星轮应用于双抛机，包括游星轮本体，所述游星轮本体内设置有用于放置治具的第一开孔，所述治具与所述第一开孔的内壁固定；所述治具的外径轮廓与所述第一开孔的内径轮廓相适应，所述治具镶嵌在所述第一开孔的内壁上。
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