[实用新型]一种小尺寸样本介电常数检测装置有效
申请号: | 201721769979.4 | 申请日: | 2017-12-18 |
公开(公告)号: | CN207908583U | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 刘伟娜;牛有田 | 申请(专利权)人: | 河南师范大学 |
主分类号: | G01R27/26 | 分类号: | G01R27/26 |
代理公司: | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 41139 | 代理人: | 路宽 |
地址: | 453007 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种小尺寸样本介电常数检测装置,包括矢量网络分析仪和传感器,其中传感器由上下设置的金属层和介质基板构成,金属层上刻蚀有共面波导传输线,该共面波导传输线包括两条信号传输缝隙、中间导带和金属地,在中间导带上串联加载有由矩形电容与槽线支节组成的测试区域,槽线支节垂直连接于矩形电容的两侧并且该槽线支节与两条信号传输缝隙垂直连接。本实用新型的测试装置结构简单,灵敏度高,传感器上的测量区域即矩形电容及两端的槽线支节采用传统的刻蚀工艺加工,价格低廉,加工难度低,便于批量生产,可实现在线实时检测。 | ||
搜索关键词: | 槽线 电容 传感器 共面波导传输线 本实用新型 垂直连接 检测装置 介电常数 信号传输 金属层 导带 样本 矢量网络分析仪 测试装置结构 在线实时检测 测试区域 介质基板 刻蚀工艺 上下设置 传统的 金属地 灵敏度 刻蚀 加工 串联 测量 生产 | ||
【主权项】:
1.一种小尺寸样本介电常数检测装置,其特征在于包括矢量网络分析仪和传感器,其中传感器由上下设置的金属层和介质基板构成,金属层上刻蚀有共面波导传输线,该共面波导传输线包括两条信号传输缝隙、中间导带和金属地,在中间导带上串联加载有由矩形电容与槽线支节组成的测试区域,槽线支节垂直连接于矩形电容的两侧并且该槽线支节与两条信号传输缝隙垂直连接,测试区域与共面波导传输线串联,共面波导传输线的输入端口和输出端口分别通过SMA接头与矢量网络分析仪相连。
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