[实用新型]蒸发率检测系统

摘要

本实用新型公开了一种蒸发率检测系统，包括：电机、控制器、预设有蒸发镀膜所需时间的计时器、用于模拟玻璃基板的检测板、监测检测板位置的第一位置传感器、用于检测蒸发率的分析平台，以及多个转轴；转轴排列设置在工艺腔的检测板入口至工艺腔的检测板出口之间，第一位置传感器设置在转轴旁，分析平台安装在检测板出口的外侧；电机、计时器和第一位置传感器分别与控制器电连接；控制器通过电机驱动转轴旋转，使放置在转轴上的检测板行进；控制器在接收到第一位置传感器发送的就位信号后，控制电机停转并触发计时器计时，停止行进的检测板位于蒸发源的上方。本实用新型不仅可以减少维护和检测成本，并且可以提升整体效率。

主权项

1.一种蒸发率检测系统，其特征在于，包括：电机、控制器、预设有蒸发镀膜所需时间的计时器、用于模拟玻璃基板的检测板、用于监测所述检测板位置的第一位置传感器、用于检测蒸发率的分析平台，以及多个转轴；所述转轴排列设置在工艺腔的检测板入口至工艺腔的检测板出口之间，所述第一位置传感器设置在所述转轴旁，所述分析平台安装在所述检测板出口的外侧；所述电机、所述计时器和所述第一位置传感器分别与所述控制器电连接；所述控制器通过所述电机驱动所述转轴旋转，使放置在所述转轴上的所述检测板行进，并且所述控制器在接收到所述第一位置传感器发送的就位信号后，控制所述电机停转并触发所述计时器计时，停止行进的所述检测板位于蒸发源的上方。