[实用新型]一种晶圆表面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201721778553.5 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207540992U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 黄雷 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄珩 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种晶圆表面缺陷检测装置，其包括：承片台，用于放置晶圆；光线发射装置，其发出的光线倾斜于晶圆预检测表面；凸透镜，其设置在晶圆正上方且两者平行设置；投影屏，其设置在凸透镜的正上方且两者平行设置；图像采集装置，用于采集投影屏上的图像信息；计算机控制终端，接收图像信息并进行处理、分析。该晶圆表面缺陷检测装置通过视觉成像手段就可以完成晶圆表面缺陷的在线检测，检测效率高，检测准确率高，大大降低了工人的劳动强度，且避免了表面缺陷超标的晶圆流入下道工序。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 缺陷检测装置 凸透镜 晶圆表面 平行设置 投影屏 圆表面 种晶 计算机控制终端 光线发射装置 接收图像信息 图像采集装置 本实用新型 表面缺陷 检测表面 视觉成像 图像信息 下道工序 在线检测 承片台 检测 准确率 采集 超标 分析 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆表面缺陷检测装置，其特征在于，包括：承片台，用于放置晶圆；光线发射装置，其发出的光线倾斜于所述晶圆预检测表面；凸透镜，其设置在晶圆正上方且两者平行设置；投影屏，其设置在所述凸透镜的正上方且两者平行设置；图像采集装置，用于采集所述投影屏上的图像信息；计算机控制终端，接收所述图像信息并进行处理、分析。
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