[实用新型]一种数字化平面度标准装置有效

专利信息
申请号: 201721789021.1 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN207610675U 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 佟岩;谢小辉;王宏伟;余乐;米雪 申请(专利权)人: 四川航天计量测试研究所
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 刘凯
地址: 610000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种数字化平面度标准装置,包括等倾干涉箱和数据处理机构,所述等倾干涉箱的箱体为具有开口的恒温装置,在所述等倾干涉箱的箱体内设置有光路组件、用于放置被检器具的工作台以及运动控制机构,所述被检器具在工作台上放置的位置与光路组件的入射端对应,所述光路组件的出射端与设置在等倾干涉箱外的干涉图像获取机构对应,所述干涉图像获取机构与数据处理机构连接,所述运动控制机构用于控制工作台在等倾干涉箱内的移动。本实用新型通过采用干涉图像获取机构加半自动控制的组合,既可提高工作效率,降低操作难度,同时能提高检测精度,实现被检器具的研磨面平面度快速准确的检定。
搜索关键词: 等倾干涉 干涉图像 光路组件 获取机构 平面度 数据处理机构 运动控制机构 本实用新型 标准装置 数字化 半自动控制 控制工作台 工作效率 恒温装置 出射端 入射端 研磨面 工作台 检定 开口 检测 移动
【主权项】:
1.一种数字化平面度标准装置,其特征在于:包括等倾干涉箱(1)和数据处理机构(2),所述等倾干涉箱(1)的箱体为具有开口的恒温装置,在所述等倾干涉箱(1)的箱体内设置有光路组件(3)、用于放置被检器具(4)的工作台(5)以及运动控制机构,所述被检器具(4)在工作台(5)上放置的位置与光路组件(3)的入射端对应,所述光路组件(3)的出射端与设置在等倾干涉箱(1)外的干涉图像获取机构(6)对应,所述干涉图像获取机构(6)与数据处理机构(2)连接,所述运动控制机构用于控制工作台(5)在等倾干涉箱(1)内的移动。
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