[实用新型]一种舟片间距渐变新型石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种舟片间距渐变新型石墨舟，包括第一组舟片、中间舟片和第二组舟片，所述第一组舟片设置于中间舟片顶部以及第二组舟片设置于中间舟片底部，其特征在于：所述第一组舟片、中间舟片和第二组舟片上设有第一通孔，所述第一组舟片、中间舟片和第二组舟片两侧设有第二通孔。本实用新型由于新型石墨舟舟片间距由外侧舟片到中间舟片逐渐变小，因此射频镀膜时对应的电场强度由外侧舟片到中间舟片逐渐变大，这种电场由外到内逐渐变大的电场分布正好补偿了管式PECVD热场由外到内逐渐变小的分布，使得舟内镀膜均匀性极大程度提高并且可以补偿热场分布的不均匀性，因此沉积镀膜工艺的升温稳定时间可一定幅度减少，对应的生产效率变大。

主权项

1.一种舟片间距渐变新型石墨舟，包括第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3），所述第一组舟片（1）设置于中间舟片（2）顶部以及第二组舟片（3）设置于中间舟片（2）底部，其特征在于：所述第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3）上设有第一通孔（4），所述第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3）两侧设有第二通孔（16），所述第一组舟片（1）包括顶部舟片（11）和第一石墨舟片（12），所述第二组舟片（3）包括底部舟片（31）和第二石墨舟片（32），所述顶部舟片（11）和第一石墨舟片（12）之间设有第一陶瓷圈（5），所述第一石墨舟片（12）和第二石墨舟片（32）与中间舟片（2）之间设有第二陶瓷圈（6），所述底部舟片（31）和第二石墨舟片（32）之间设有第三陶瓷圈（7），所述第一陶瓷圈（5）、第二陶瓷圈（6）和第三陶瓷圈（7）内部设有第一陶瓷棒（8），所述第一陶瓷棒（8）与第二通孔（16）活动卡接，所述第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3）两侧设有石墨块（9），所述石墨块（9）上设有开孔（10），所述开孔（10）内设有第二陶瓷棒（13），所述第一陶瓷棒（8）和第二陶瓷棒（13）两端均设有石墨螺母（14）。