[实用新型]一种掩膜电液束加工装置有效
| 申请号： | 201721794526.7 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207695794U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 吴明;郭钟宁;何俊峰;陈晓磊 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00 |
| 代理公司： | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 孙文卉 |
| 地址： | 510006 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种掩膜电液束加工装置，包括：电液束喷嘴、绝缘模板、工件、载物台、电解液、工件仓、电解液射流压力控制系统、电源、电解液输送管道、过滤系统、压力泵，所述电源包括电源阳极和电源阴极，所述电液束喷嘴连接电源阴极，所述工件连接电源阳极，所述电解液输送管道一端连接电解液，另一端设置有电液束喷嘴；通过光刻技术以及半导体技术在工件上制得绝缘模板，电解液从电液束喷嘴射向工件，对工件上未被绝缘模板保护的区域进行去除加工；本实用新型具有电液束工艺在加工过程中无应力、材料去除率高等优点，更兼有光刻工艺大批量、高精度等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 电液 喷嘴 绝缘模板 电解液 电解液输送管道 本实用新型 电源阳极 加工装置 掩膜 电源 压力控制系统 阴极 半导体技术 材料去除率 电解液射流 电源阴极 工件连接 光刻工艺 光刻技术 过滤系统 连接电源 一端连接 一端设置 工件仓 压力泵 载物台 去除 加工 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜电液束加工装置，其特征在于，包括：工件仓；设置于所述工件仓内底部的电解液；安装在工件仓内的载物台，所述载物台与工件仓底部通过支架连接；安装在载物台上的工件，所述工件上设置有绝缘模板；设置于工件上方的电液束喷嘴；连接在所述电液束喷嘴上的电解液输送管道，所述电解液输送管道另一端连接电解液；电源，所述电源包括电源阳极和电源阴极，所述电源阳极连接工件，所述电源阴极连接电液束喷嘴。
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