[实用新型]一种微管内气液两相流流型的检测装置

摘要

本实用新型涉及一种微管内气液两相流流型的检测装置。本实用新型包括注液流道、回收微流道和气密封通道。等间隔在回收微流道两侧分别布置三对超声波信号发射单元和接收端信号处理单元来实现气液回收时管内流型的实时监测，再配合浸液输送单元、密封气体输送单元和气液回收单元进行协同自适应控制。使浸没流场时时处于动态平衡状态，实现浸没流场边界的稳定约束，消除回收微流道内段塞流流型，有效控制浸没液体回收过程中的流体行为引起的振动。本实用新型从工况入手，避免由于结构现状导致的浸没单元外部到回收腔之间产生气液两相流，有效控制浸没液体回收过程中的流体行为引起的振动，在根本上消除回收微流道内气液两相流混合的问题。

主权项

1.一种微管内气液两相流流型的检测装置，包括注液流道、回收微流道和气密封通道；其特征在于：所述的注液流道、回收微流道和气密封通道设置在浸没单元内；浸没单元中心为圆台型投影透镜组投影物镜放置槽，以投影物镜放置槽中轴线为圆心向外依次设置注液流道、回收微流道和气密封通道；注液流道环绕在投影物镜放置槽四周；回收微流道和气密封通道均包括多个以投影物镜放置槽中轴线为圆心均匀分布的微型圆柱型通道微管，每个微管均垂直于硅片设置；注液流道、回收微流道和硅片之间的缝隙为缝隙流场；回收微流道、气密封通道和硅片之间的缝隙为密封气体通道；硅片底部设置有硅片应变检测传感器阵列；所述的注液流道与注液流量控制装置连接，注液流量控制装置包括供液系统、超纯水处理装置和液体流量控制器，用于为浸没流场提供浸没流体；回收微流道与真空泵装置连接，真空泵装置包括真空泵及其前置的水收集器，用于回收回收微流道中的流体；气密封通道与气密封装置连接，气密封通道包括空压机和气体流量控制器，用于向气密封通道内注入密封气体；所述的回收微流道中每个微管上均设置有超声波信号发射模块和接收端信号处理模块；超声波信号发射模块和接收端信号处理模块为三对分别依次沿微管设置的超声波信号发射单元和接收端信号处理单元，三对超声波信号发射单元和接收端信号处理单元对称安装在回收微流道中每个微管的两侧，沿程等距离设置。