[实用新型]弹性体应变薄膜电阻

摘要

本实用新型公开了一种弹性体应变薄膜电阻，包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅、位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅、位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅、位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘以及四个补偿焊盘组成。上述电阻栅和焊盘均采用离子束薄膜溅射技术和精密光刻技术制造而成，位于钢杯的平膜片的表面。二个内电阻栅、二个外电阻栅四个电阻可以组成惠斯通电桥，当电桥在零点输出不为零时，选择所述二个补偿电阻栅的适当阻值，串入在惠斯通电桥的桥臂中，使惠斯通电桥的零点输出尽量小。这样传感器配阻容易，溅射薄膜传感器优良性能得到保障。

主权项

1.一种弹性体应变薄膜电阻，其特征在于：包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅(2)，位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅(3)，位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅(5)，位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘(4‑1)、栅条焊盘(4‑2)、栅条焊盘(4‑3)、栅条焊盘(4‑4)以及四个补偿焊盘(4‑5)、补偿焊盘(4‑6)、补偿焊盘(4‑7)、补偿焊盘(4‑8)组成。