[实用新型]一种大气压低功率微波发卡共振放电器

摘要

本实用新型涉及微波放电等离子领域，具体涉及一种大气压低功率微波发卡共振放电器；包括石英管、U型金属丝、接地铜胶膜及载气输入端，石英管内的U型金属丝分别电连接微波功率计和功率放大器，功率放大器分别电性连接脉冲信号调制器及微波信号发生器，石英管的一端为载气输入端。本实用新型采用发夹形状的微波共振电极作为放电驱动器；在大气压下以不同载气作为工作气体通过载气输入端进入石英管并通过U型金属丝；打开微波信号发生器，设置脉冲信号调制器的脉冲频率值，观察微波功率计的同时调整功率放大器保持特定功率输出；石英管内发生放电现象，U型金属丝的尖端产生等离子体羽流，且呈现清晰的拱形图案。

主权项

1.一种大气压低功率微波发卡共振放电器，其特征在于：包括脉冲信号调制器(1)、微波信号发生器(2)、功率放大器(3)、微波功率计(4)、石英管(5)，U型金属丝(6)、接地铜胶膜(7)以及载气输入端(8)，所述石英管(5)内的所述U型金属丝(6)分别电性连接所述微波功率计(4)和所述功率放大器(3)，所述功率放大器(3)分别电性连接所述脉冲信号调制器(1)以及所述微波信号发生器(2)，所述石英管(5)的一端为所述载气输入端(8)。