[实用新型]一种新型镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种新型镀膜设备，包括底板，底板的顶面均匀固定有多个支撑柱体，支撑柱体的顶面固定有真空室，真空室的顶面对称固定有支撑板，支撑板的顶面固定有顶板，顶板的底面中部有电机，真空室的底面中部有T形盲孔A，T形盲孔A内旋转连接有圆形板块C，电机的驱动端固定连接有连杆，连杆的底端伸入真空室与圆形板块C相固定，连杆的外部套有滑动环形板，顶板的底面有千斤顶。本实用新型设计有相互啮合的齿轮和齿条，根据需要调整基片的镀膜面，便于溅射镀膜，并且仅需一次将真空室抽气为真空即可完成基片的多层镀膜，降低了成本的同时提高了镀膜质量，而且一次可以加工完成多个基片的镀膜，速度快，提高了生产效率，非常的实用、可靠。

主权项

一种新型镀膜设备，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的顶面均匀固定有多个支撑柱体(2)，所述支撑柱体(2)的顶面固定有真空室(3)，所述真空室(3)的顶面对称固定有支撑板(4)，所述支撑板(4)的顶面固定有顶板(5)，所述顶板(5)的底面中部固定有电机(6)，所述真空室(3)的底面中部设有T形盲孔A(3‑3)，所述T形盲孔A(3‑3)内旋转连接有圆形板块C(40)，所述电机(6)的驱动端固定连接有连杆(7)，连杆(7)的底端伸入真空室(3)与圆形板块C(40)相固定，所述连杆(7)的外部套有滑动环形板(8)，所述顶板(5)的底面固定有千斤顶(9)，所述千斤顶(9)的活塞杆底面设有弧形凹槽，弧形凹槽内旋转连接有滚珠(10)，滚珠(10)的底端伸出弧形凹槽与滑动环形板(8)的顶面接触，所述真空室(3)的顶面中部设有通孔A(3‑1)，所述通孔A(3‑1)的内壁设有环形凹槽(3‑2)，环形凹槽(3‑2)的截面为T形，所述通孔A(3‑1)内贴合设有固定在连杆(7)上的圆形板块A(11)，所述圆形板块A(11)的外环面固定有与环形凹槽(3‑2)相匹配的环形滑块(12)，环形滑块(12)与环形凹槽(3‑2)旋转连接，所述圆形板块A(11)与滑动环形板(8)之间均匀固定有多个弹簧A(13)，所述真空室(3)内部设有环形固定块(14)，环形固定块(14)套在连杆(7)外部，所述环形固定块(14)与连杆(7)之间均匀固定有多个支撑肋板(15)，所述环形固定块(14)的顶面均匀设有多个方形通孔A(14‑1)，所述方形通孔A(14‑1)的侧壁中部旋转连接有横杆B(18)，横杆B(18)的端部穿过环形固定块(14)的内环面指向环形固定块(14)的圆心，所述方形通孔A(14‑1)的另一侧壁设有T形盲孔B(14‑2)，所述T形盲孔B(14‑2)内旋转连接有圆形板块B(16)，所述圆形板块B(16)的侧面固定有横杆A(17)，横杆A(17)与横杆B(18)的中心线相同，所述横杆A(17)和横杆B(18)的端部均设有夹板(20)，所述夹板(20)的侧面固定有下夹块(21)，所述夹板(20)的侧面上部设有滑槽A(20‑1)，所述滑槽A(20‑1)内滑动设有方形滑杆(22)，所述夹板(20)的侧面上部固定有固定板(23)，所述固定板(23)与方形滑杆(22)之间固定有弹簧B(24)，所述固定板(23)的顶面螺纹连接有螺栓(25)，所述方形滑杆(22)的底面固定有上夹块(26)，所述上夹块(26)与下夹块(21)之间夹放设有基片(19)，所述横杆B(18)的端部固定连接有齿轮(27)，所述环形固定块(14)的上方设有固定在连杆(7)上的环形固定板(28)，所述环形固定板(28)的顶面均匀设有多个方形通孔B(28‑1)，所述方形通孔B(28‑1)内滑动设有齿条(29)，齿条(29)与齿轮(27)相互啮合，所述齿条(29)的侧面设有滑槽B(29‑1)，滑槽B(29‑1)的截面为T形，所述滑槽B(29‑1)内滑动连接有与其相匹配的T形滑块(28‑2)，T形滑块(28‑2)固定在方形通孔B(28‑1)的侧壁上，齿条(29)的顶面固定有与圆形板块A(11)滑动连接的固定杆(30)，固定杆(30)的顶端穿过圆形板块A(11)与滑动环形板(8)相固定，所述真空室(3)的两侧面均设有通孔B(3‑4)，所述真空室(3)的两侧面均固定有套筒(31)，套筒(31)通过通孔B(3‑4)与真空室(3)连通，所述套筒(31)的外壁螺纹连接有密封箱盖(32)，所述密封箱盖(32)的内壁贴附有密封片(33)，所述密封箱盖(32)侧面中部固定有U形把手(34)，所述真空室(3)的内部底面均匀固定有靶座(35)，每个方形通孔A(14‑1)的正下方的相对位置均设有至少一个靶座(35)，所述底板(1)的顶面固定有前级泵(36)、油扩散泵(37)和真空泵(38)，前级泵(36)、油扩散泵(37)和真空泵(38)对应连接配合用于抽离真空室(3)内的气体，所述真空室(3)的底面固定有真空度检测仪(39)。