[实用新型]一种高分子薄膜传感器有效
申请号: | 201721820013.9 | 申请日: | 2017-12-23 |
公开(公告)号: | CN207649800U | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 陈行柱;黄瑞奇 | 申请(专利权)人: | 飞思仪表(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高分子薄膜传感器,包括屏蔽外壳,所述屏蔽外壳底部外壁开有卡槽,且卡槽内壁卡接有硅芯片衬底,所述硅芯片衬底包括柔性衬底基板和两个刚性衬底基板,且柔性衬底基板位于两个刚性衬底基板相对一侧内壁之间,所述硅芯片衬底顶部外壁粘接有栅电极,且栅电极顶部外壁两侧均开有固定螺孔,两个固定螺孔的内壁均通过螺纹连接有绝缘固定螺栓。本实用新型通过接触凸点配合上有凸点压电薄膜,替代传统的整体电极接触,将有效面积缩减至接触凸点面积,减少发热,提高电极配合感应材料的有效移动效率,进而提高传感器的效率,加强电压信号压膜配合上夹层式的硅芯片衬底,提高高分子传递效率。 | ||
搜索关键词: | 硅芯片 衬底基板 衬底 高分子薄膜传感器 本实用新型 固定螺孔 接触凸点 屏蔽外壳 内壁 配合 栅电极顶部 螺栓 传递效率 底部外壁 电压信号 顶部外壁 感应材料 绝缘固定 卡槽内壁 螺纹连接 外壁两侧 压电薄膜 有效面积 有效移动 整体电极 电极 传统的 上夹层 栅电极 传感器 卡槽 卡接 凸点 压膜 粘接 发热 替代 | ||
【主权项】:
1.一种高分子薄膜传感器,包括屏蔽外壳(1),其特征在于,所述屏蔽外壳(1)底部外壁开有卡槽,且卡槽内壁卡接有硅芯片衬底,所述硅芯片衬底包括柔性衬底基板(4)和两个刚性衬底基板(5),且柔性衬底基板(4)位于两个刚性衬底基板(5)相对一侧内壁之间,所述硅芯片衬底顶部外壁粘接有栅电极(6),且栅电极(6)顶部外壁两侧均开有固定螺孔(15),两个固定螺孔(15)的内壁均通过螺纹连接有绝缘固定螺栓(3),所述栅电极(6)一侧外壁焊接有引线(13),且栅电极(6)另一侧外壁焊接有连接板,所述连接板顶部外壁开有凹槽,且凹槽内壁卡接有感应线(14),连接板远离屏蔽外壳(1)一侧外壁套接有传感探头(2),所述栅电极(6)包括电极基板(12)和凸点压电薄膜(11),且凸点压电薄膜(11)底部外壁通过压敏胶水粘接在电极基板(12)顶部外壁上,所述电极基板(12)顶部外壁开有通孔,且通孔内壁熔接有接触凸点(7),所述接触凸点(7)顶部外壁粘附有加强电压信号压膜(8),且加强电压信号压膜(8)顶部外壁一侧开有螺孔,绝缘固定螺栓底部外壁通过螺纹连接在螺孔内壁上,所述屏蔽外壳(1)顶部外壁开有第二通孔,且第二通孔内壁卡接有上电极(10),所述上电极(10)底部外壁粘附有感应材料(9),且感应材料(9)位于上电极(10)和加强电压信号压膜(8)相对一侧内壁之间。
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