[实用新型]干燥辅助装置及含有该干燥辅助装置的干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种干燥辅助装置及含有该干燥辅助装置的干燥装置。通过在干燥装置的载物平台的设置干燥辅助装置，干燥辅助装置的上阻挡板与支撑侧壁配合围成用于供待干燥的基板的边缘部位伸入的非封闭式空间，当将待干燥的基板放置在载物平台的干燥区域上，待干燥的基板至少有部分边缘部位位于上阻挡板的下方，由于上阻挡板和支撑侧壁的阻挡，在干燥时，边缘部位的溶剂蒸汽浓度较之中间区域将会增加，从而边缘部位的墨水挥发速度会降低，能够与中间区域的挥发速度接近甚至一致，这样能够有效减弱甚至消除因基板干燥时边缘区域与中间区域溶剂挥发速度不一致引起的边缘膜厚不均匀的边缘效应，提高印刷制程中墨水沉积区的薄膜厚度均匀性。

主权项

1.一种干燥辅助装置，其特征在于，包括支撑侧壁和上阻挡板，所述支撑侧壁用于放置在干燥装置的载物平台上，所述上阻挡板固定在所述支撑侧壁的上方，所述上阻挡板向所述支撑侧壁的一侧凸出于所述支撑侧壁的表面，所述上阻挡板与所述支撑侧壁配合围成用于供待干燥的基板的边缘部位伸入的非封闭式空间；多个所述支撑侧壁在所述载物平台上能够配合围成干燥区域，多个所述上阻挡板能够在所述干燥区域的上方配合围成挥发开口，且所述挥发开口的面积小于所述干燥区域的面积，当将所述待干燥的基板放置在所述载物平台的干燥区域上，所述待干燥的基板至少有部分边缘部位位于所述上阻挡板的下方。