[实用新型]一种硅舟

摘要

本实用新型公开了一种硅舟，硅舟由高纯硅制作，包括平行设置的法兰和天板，法兰和天板之间设有若干用于承托硅片的硅齿棒，硅齿棒内侧设有多个等距且相互平行的沟齿，硅片插入并搁置于沟齿上，本实用新型采用平行设置的法兰和天板，配以中间支撑的多根硅齿棒，形成上下排布且高密度存放的硅片容置槽，可根据工艺需要选用不同数量沟齿的硅齿棒来承接硅片，既满足不同需求的加工要求，又能减少硅片与硅舟的接触面积，支承可靠且隔热效果好。

主权项

1.一种硅舟，用于硅片在热处理过程中的支承和隔热，其特征在于：所述硅舟包括平行设置且对应的法兰（1）和天板（2），所述法兰和天板之间设有若干用于承托所述硅片的硅齿棒（3），所述硅齿棒内侧设有多个等距且相互平行的沟齿（31），所述硅片插入并搁置于所述沟齿上；所述硅齿棒（3）的横截面呈三角形，其三角形顶端朝向内侧，三角形底边朝向外侧；所述硅齿棒（3）数量为三根，包括两根前沟棒（32）和一根后沟棒（33），前沟棒和后沟棒上的沟齿（31）均设于硅齿棒内侧的三角形顶端，三根硅齿棒上的相应沟齿形成同一平面的硅片容置槽，两根前沟棒上对应沟齿的齿底间距大于硅片宽度，两根前沟棒上对应沟齿的齿顶间距小于硅片宽度，硅片插入对应的硅片容置槽并搁置于沟齿上。