[实用新型]夹具及等离子体沉积设备

摘要

本实用新型涉及气相沉积技术领域，公开了一种夹具以及设置有该夹具的等离子体沉积设备。夹具包括：承接件，承接件为多个且隔开地设置；支撑板，支撑板为多个且承接件位于支撑板之间；在承接件上设置有限位件，样品沿竖直方向被限位件固定在两个承接件之间。本实用新型使样品垂直于电极板放置在夹具上，能够改善样品表面等离子体气相沉积的均匀性并提高沉积效率。

主权项

1.一种夹具(1)，用于保持并固定样品，其特征在于，所述夹具(1)包括：承接件(2)，所述承接件(2)为多个且隔开地设置；支撑板(3)，所述支撑板(3)为多个且所述承接件(2)位于所述支撑板(3)之间；在所述承接件(2)上设置有限位件(4)，所述样品沿竖直方向被所述限位件(4)固定在两个所述承接件(2)之间。