[实用新型]单晶硅真空粉尘过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅真空粉尘过滤装置，该装置设有离线反吹口，装置进出气侧设置有压差计，装置底部为粉尘存储空间，装置内部的滤芯为筒式的折波结构，固定在不锈钢内骨架上，过滤精度可达5～200μm，单根滤芯的过滤面积是同规格非折波滤芯的四倍。本实用新型装置结构紧凑设计合理，通过滤芯，粉尘过滤精度可以达到5μm，滤芯表面随着粉尘堆积形成滤饼层，进一步提升过滤精度可以达到3μm，有效保护后续氩气纯化设备的正常运行。在保证过滤性能的同时，耐高温性能相较原非金属滤材有明显的提升，同时机械强度更高，能够反复清洗重复利用，是单晶炉氩气回收系统真空粉尘过滤的理想选择。

主权项

1.一种单晶硅真空粉尘过滤装置，其特征是：该装置设有离线反吹口(4)，装置进出气侧设置有压差计，装置底部为粉尘存储空间，装置内部的滤芯(7)为筒式的折波结构(9)，折波结构(9)固定在不锈钢内骨架(8)上，滤芯(7)过滤精度可达5～200μm，单根滤芯的过滤面积是同规格非折波滤芯的四倍。