[实用新型]一种靶材冷却装置有效
| 申请号： | 201721848656.4 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN208104526U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 严佐毅;刘文卿;张龙;张丽 | 申请（专利权）人： | 安徽金美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅射领域，主要涉及一种靶材冷却装置，包括靶材和冷却靶座，所述冷却靶座包括冷却腔，所述冷却腔上壁为冷却背板用于放置所述靶材，所述冷却腔两端分别设置有冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却腔内上下壁设有若干彼此交错且间隔设置的导流板，使所述冷却腔内部空间形成曲折连通的冷却介质流道，这种结构的冷却靶座可以提高冷却背板的换热面积，同时在来回曲折的流动过程中，冷却介质湍动程度大幅提高，强化冷却介质与靶座之间的传热，从而急速降低靶材底座的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却腔 靶座 靶材 冷却 靶材冷却 冷却背板 冷却介质出口 冷却介质流道 冷却介质入口 本实用新型 传热 磁控溅射 间隔设置 冷却介质 流动过程 强化冷却 曲折 导流板 底座 换热 上壁 连通 交错 | ||
【主权项】：
1.一种靶材冷却装置，包括靶材和冷却靶座，其特征在于，所述冷却靶座包括冷却腔，所述冷却腔上壁为冷却背板用于放置所述靶材，所述冷却腔两端分别设置有冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却腔内上下壁设有若干彼此交错且间隔设置的导流板，使所述冷却腔内部空间形成曲折连通的冷却介质流道；所述靶材和冷却背板采用热粘接以使两者充分接触。
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