[实用新型]一种靶材冷却装置有效
| 申请号： | 201721851177.8 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN208104529U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘文卿;严佐毅;张龙;张丽 | 申请（专利权）人： | 安徽金美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于溅射靶材领域，具体来说涉及一种靶材冷却装置，包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道；本实用新型简易方便，能够在不增加成本的基础上直接对靶材进行冷却，大大降低靶材温度，提高传热效率，并且能够更加均匀的冷却靶材，提高沉积薄膜的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 余料 本实用新型 靶材冷却 冷却 沉积薄膜 传热效率 溅射靶材 冷媒通道 对靶 简易 | ||
【主权项】：
1.一种靶材冷却装置，其特征在于：包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道，所述靶材余料对称设置在所述靶材的端部，所述冷媒通道对称设置，所述冷媒通道两端分别为冷媒进口和冷媒出口。
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