[实用新型]一种椭圆偏振测厚仪有效
| 申请号： | 201721851787.8 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207703162U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王传龙 | 申请（专利权）人： | 天津良益科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津市新天方有限责任专利代理事务所 12104 | 代理人： | 李桂英 |
| 地址： | 300350 天津市津南区滨海民*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种椭圆偏振测厚仪，包括实验底座，所述实验底座上设有转轴，所述转轴的上端连接工作台，所述工作台上依次设有激光器、起偏器、样品台、检偏器、光电探测器，所述激光器的前端设有准直镜，所述起偏器的前端设有分束器，所述检偏器的下方设有光电倍增管，所述实验底座上设有开关和USB外接口。本实用新型的有益效果是光电倍增管有效增强微弱光信号转化成电信号，使得光电探测器可以准确的读取信号数据，避免数据读取的误差，另外，准直镜校准光束的准直性，增强入射光束准确度；并且通过A/D转化模块可以快速的得出测得的模拟信号转化为数字信号传输进行数据处理，得到准确的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 底座 本实用新型 光电倍增管 光电探测器 椭圆偏振 激光器 测厚仪 检偏器 起偏器 准直镜 转轴 模拟信号转化 数字信号传输 微弱光信号 准确度 读取信号 入射光束 数据读取 转化模块 数据处理 分束器 样品台 准直性 上端 校准 工作台 转化 | ||
【主权项】：
1.一种椭圆偏振测厚仪，其特征在于：包括实验底座(1)，所述实验底座(1)上设有转轴(2)，所述转轴(2)的上端连接工作台(3)，所述工作台(3)上依次设有激光器(4)、起偏器(5)、样品台(6)、检偏器(7)、光电探测器(8)，所述激光器(4)的前端设有准直镜(9)，所述起偏器(5)的前端设有分束器(10)，所述检偏器(7)的下方设有光电倍增管(11)，所述实验底座(1)上设有开关(12)和USB外接口(13)。
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